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我们先把MEMS传感器做一个简单的介绍： MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanicalSystem ，微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一...